近年來,產業需求因應電子產品輕薄化及對生產環境友善化,對銅線路生產已進入線路細微化及製程綠色化。傳統黃光蝕刻製程因線寬受限製程無法縮小及排放大量污染物,製造技術受到擠壓;新式半加成法製程雖解決線路細微化問題,但關鍵技術掌握於日本廠商且仍屬高污染製造技術......
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