近年來，中國大陸正全力推動半導體設備產業的發展，目標在提高設備自給率並減少對外國技術的依賴。政府通過大基金等方式提供大量資金支持，並實施稅收優惠等政策來吸引外資投資。目前中國大陸在蝕刻機、沉積設備、清洗設備和部份封測設備等，已經取得進展。對於臺灣政府而言，目前也持續強化國內半導體設備自主能力，因此中國大陸半導體設備產業的進展，將可作為我國產業策略重視。我國可參考中國大陸的做法，制定長期發展戰略與目標，加大政策支持力度，同時加強產學研合作，培養設備研發專業人才，並且可考慮組建產業聯盟，透過中國大陸經驗，助力我國半導體設備產業的自主發展，強化供應鏈韌性。
一、中國大陸半導體設備產業狀況
二、中國大陸半導體設備國產化策略
三、中國大陸半導體設備國產化成果
四、結語