微機電與半導體這兩個乍看之下互為獨立個體的產業，在經過數年的發展後，開始朝向了整合的道路上邁進。藉著將微機電區塊整合至現有以矽製程為基礎的積體電路上，MEMS on IC－亦即內含CMOS電路的Integrated MEMS，其快速發展已使得微機電與半導體的界限開始模糊，機(MEMS)/電(IC)整合成為新的技術與應用趨勢。對於微機電而言，藉由與半導體的整合以運用其豐富的技術與製造資源，加速產品開...
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