奈米電子重要微縮技術之專利分析

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出版作者 陳俊儒
出版單位 工研院IEK電子分項
出版日期 2004/10/04
出版類型 產業評析
所屬領域 半導體
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摘要

本文所提到的奈米電子重要微縮技術,以Low-k材料、High-k閘極介電層及絕緣層上矽(SOI)為主,此專利分析是以美國專利商標局(U.S. Patent and Trademark Office;USPTO)之專利資料庫,利用Patent Pilot 1.3專利分析軟體以上述技術相關之關鍵字作為檢索條件,針對名稱(Title)及摘要(Abstract)欄位進行線上專利收集,其資料範圍取至2004...

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