「高階製造系統基礎技術」以高階工具機為目標載具，包括高階工具機設計分析、結構模態分析、結構熱平衡、精密軸承、精密光學尺、精密加工製程優化、結構鑄件材料穩定度及高精密組裝等技術。預期藉由基礎技術深化導入高階製造系統，開發國內之高品級工具機關鍵技術與零組件，使關鍵零組件能自主化，以提升工具機產品性能及附加價值。
為強化我國在化合物半導體前段材料製程與設備所欠缺的基礎技術，並達到人才培育與技術深耕之目的，「半導體製程設備基礎技術」以MOCVD為開發載具，期望藉由精密機械、材料、物理等相關領域之基礎研究，厚植半導體設備開發之實力，提高相關製程設備及其零組件之國產化。
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