在半導體製程微型化發展的趨勢下，高階製程比重逐年提升，帶動DUV光阻的市場與出貨量逐年增加，尤其是在65/40奈米製程的需求快速增長，使得ArF光阻出貨量呈現高成長的趨勢，再加上其平均價格較高，總體市場值已於2010年超越KrF光阻市場值，且領先幅度將逐年增加，成為光阻市場最重要的產品項目。
2010年全球ArF光阻出貨量估計為9.6萬加侖，較2009年成長33.8%，展望2011、2012年，在高階製程需求成長帶動下，對於ArF的需求量亦將大幅成長，出貨量預估分別可達到12.4萬加侖、15.6萬加侖，與KrF光阻的差距將加速拉近。
而在市場值的部分，2010年全球ArF光阻市場估計為....