過熱蒸氣(superheated steam)係指在一大氣壓下比100℃更高溫的水蒸氣，一般常將特定壓力下沸騰之飽和蒸氣再加熱讓水分完全蒸發形成乾飽和蒸氣後，再加熱成為無色無味的過熱蒸氣。過熱蒸氣是以單相存在，溫度和壓力非相依性質，即特定壓力下會因過熱度(degree of superheat)不同而有不同的溫度，當過熱度越高，過熱蒸氣的熱焓值就越高，有利於作為加熱與乾燥的傳熱介質。早期過熱蒸氣主要應用於渦輪發電、乾燥木材、煤業、造紙業等，近年來則擴大至地熱發電、生質能源、食品加工(如乾燥、烹調、除臭和殺菌)等應用。本文研析過熱蒸氣於食品業發展之關鍵技術與應用情形，以供國內相關業者運用之參考。
一、過熱蒸氣發展關鍵技術
二、過熱蒸氣之發展應用
三、結語