奈米轉印技術因其只要使用單次之微影步驟,即可在大面積的基板上,以單一模具重複進行相同奈米圖樣(Nano Pattern)轉移與奈米結構之製作,有低成本、高產出率的潛在優勢,具有未來發展性的一種技術;其應用的範圍廣泛,包括奈米電子、光學元件、高密度儲存裝置、奈米電磁裝置、生物裝置、感測器及奈米機電元件等之製作。...
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