LCD使用的玻璃基板,容易帶電,卻難以除電;再者,因為靜電的帶電量會隨著表面積越大而變大,隨著基板大型化的演變,靜電對策的重要性也越顯重要。因此,向來慣用的除靜電設備(Ionizer)的需求也有擴大趨勢,如可在腔室內除電的紫外線照射型除電等,可用於某些限定用途產品的採用案例也有持續增加的趨勢。...
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