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全球半導體CVD設備概況

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出版作者 陳慧娟
出版單位 金屬中心
出版日期 2009/12/04
出版類型 產業評析
所屬領域 機械設備
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摘要

由常壓開始的CVD(Chemical Vapor Deposition)成膜技術,現在越來越常應用於低壓領域中,今後市場將會慢慢縮小,或是呈現持平的狀態。...

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