過去幾十年間，半導體產業依賴製程微縮（scaling critical dimensions）來提高元件的性能及生產的效能。但自從0.13微米技術發展後，半導體產業對新材料、新製程和新設備的革新需求與日俱增，造成了研發費用支出及研發時程不斷的增加，於是墊高了成長趨緩，獲利壓縮的半導體產業的成本，加上消費性產品主導未來半導體應用的成長，低成本、有效率的製程開發流程非常重要。...
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