台灣半導體產業發展蓬勃，晶圓代工、後段封裝測試與IC設計等次產業的全球排名更是數一數二，2015年國內半導體產業產值約新台幣2.4兆元，但半導體設備產值僅新台幣801億元，相較於半導體產業的風光，台灣半導體設備產業顯然星光黯淡許多。要如何帶動國內半導體設備產業發展，不僅關係到廠商的生路，也關係到國內半導體與精密機械產業未來的發展，因此產官學研各界皆應正視此課題。
一、前言
二、台灣半導體設備產業現況
三、結論
圖1 國內半導體設備自製率變化趨勢
圖2 國內半導體設備耗材零組件自製率變化趨勢
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