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淺談微製程中的關鍵設備--雷射加工機

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出版作者 莊惟傑
出版單位 工研院IEK
出版日期 2008/03/11
出版類型 產業評析
所屬領域 機械設備
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摘要

雷射技術開發迄今已經有100年的歷史。雷射(Laser:Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation)這個字的語源及基本原理,是來自於1900年愛因斯坦的「誘導激發發射」學說。其後到了1960年,美國休斯研究所首次確認了紅寶石雷射所產生的振盪,之後世界各國開始進行各式各樣的雷射振盪器開發計畫,1970年代開始即有CO2雷射等產業級的...

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