奈米薄膜是一類具有廣泛應用前景的奈米材料，若依微結構區分，可分為兩類：(1)含有奈米顆粒與原子團簇-基材薄膜，組成薄膜的奈米微粒可以是金屬、半導體、絕緣體、有機高分子等材料，因此，奈米薄膜材料可以有許多種組合，如金屬/半導體、金屬/絕緣體、半導體/金屬、半導體/絕緣體、半導體/高分子材料等，而每一種組合又可衍生出眾多類型的複合薄膜；(2)奈米尺寸厚度的薄膜，其厚度接近電子平均自由徑和德拜長度(De...
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