【表1】所示為市調研究機構Gartner Dataquest於2007年12月的最新統計資料,2007年全球半導體前段設備(含曝光機、光阻製程設備、熱處理、離子佈植、CVD、濺鍍設備、CMP、檢測設備等)總計成長9.0%,金額達到356億美元。2007年45奈米正式邁入量產階段,但半導體業者在設備方面的支出還是以65及90奈米為主;目前DRAM與NAND flash的新增設備佔所有半導體設備支出的...
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