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半導體氣體與化學品產業發展趨勢

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出版作者 何巧玲
出版單位 工研院IEK化材組
出版日期 2005/08/31
出版類型 產業評析
所屬領域 電子零組件及材料
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摘要

隨著半導體製程演進所使用的材料不同,需要的反應氣體與化學品也不同,半導體製程主要在微影、蝕刻、薄膜、擴散、化學機械研磨五方面,國際大廠如Air Product、Air Liquid等在了解半導體製程需要後,會追蹤分析所需的特殊氣體與化學品,確認整體化學反應與純度、廢棄物、污染控制,市場使用量及相關生產技術等綜合考量,配合設備廠商、製造廠商,及配送系統,切入此利基市場,因此國際大廠在創造高利潤的策略...

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