高科技設備業迎向次世代製程技術的新契機(4/20研討會簡報)

台灣的兩兆產業-半導體與顯示器產業，已逐漸達到成熟，發展力道不若以往；再加上國內產業聚落逐漸西進，台灣的兩兆產業已逐漸感受到產業外移空洞化的憂心，而與這些產業息息相關的機械設備產業，更是感受深刻。如何能在這兩兆電子產業裡找到下一個成長動力的來源，是電子產業、機械設備產業都相當關心的事情。兩兆電子產業雖然發展已臻成熟，但次世代的技術發展依舊可以帶領產業繼續成長，其中半導體產業的次世代微影技術與顯示器產業的次世代OLED技術，則是最令人期待的兩項次世代發展技術。目前的半導體微影技術- ArF浸潤式微影，將在20奈米技術節點後面臨瓶頸，半導體產業想要能夠繼續保持追隨摩爾定律，就必須尋找次世代的微影技術。而顯示器產業近來很熱門的OLED技術，在設備與製程則是分別由日、韓領先的局面，但隨著OLED面板大型化，製程與設備也必須跟著調整。台灣高科技設備業者，若能在這兩波次世代技術發展中找到設備技術切入點，相信將會是提昇我國設備市場繼續發展的新契機。