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LCD生產設備專題研究

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出版作者 莊凱婷、黃仲龍
出版單位 工研院IEK系統能源組
出版日期 2000/12/20
出版類型 產業報告
所屬領域 機械設備
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摘要

面對LCD產業未來快速的發展,國內業者的投入亦相當積極,但目前國內生產設備的供給來源幾乎掌握在日本與美國等少數國家手中,造成廠商對進口設備的過度依賴,因此如何提高國產設備的自給率,為現階段我國在邁向光電產業發展上,值得深思的課題。

有鑑於此,本研究主要探討國內外LCD生產設備發展現況與面臨的問題,並透過資料的蒐集與分析,掌握設備技術發展與市場趨勢,進而擬定設備發展方向以供相關業者參考。

LCD生產設備包括製造LCD面板與彩色濾光片的設備,可分為基板製程關連設備、面板與模組構裝關連設備及檢查與修整設備三大類,至於搬運等周邊設備,以及提供氣體、化學品與電力的廠務設備則不包含在本研究當中。

LCD生產設備的發展,與LCD產業景氣之繁榮與否有著相當密切的關係。1998年由於發生東南亞金融風暴,日、韓廠商紛紛延後甚至暫時取消投資計畫,也使得設備市場下降至11億7,300萬美元。1999年由於金融風暴的衝擊已平息,日、韓廠商逐漸恢復投資,再加上台灣多家大廠的陸續投入,所以設備市場大幅增加為21億2,700萬美元。至於在2000年,廠商仍抱持高度的投資意願,使得LCD設備市場達到空前的歷史高峰,設備市場較99年成長60%,為34億300萬美元。而2001年由於台灣與韓國大幅投資的腳步趨緩,預估市場將衰退38%,為21億800萬美元。

國內從事LCD生產設備的廠商並不多,產品都為TN與STN-LCD層次,且多集中在清洗、烘烤等濕製程,以及小尺寸且單機操作的後段與TAB模組構裝設備,自動化且連線的設備則較缺乏。目前國內的TN與STN-LCD廠在使用國產設備的態度上非常積極,大多數的廠商會主動尋找國產設備來源,更有不少的使用者在設備的開發上不遺餘力;但在TFT-LCD廠商方面,由於國內製程設備製造經驗不足,無足夠的專業技術研發人才與上下游產業體系配合,再加上國內設備不易取得國外認證,故廠商在使用國產設備的態度上相當保守。

在LCD設備技術發展趨勢方面,隨著玻璃基板的不斷大型化,生產線的製程也由第4代逐漸發展到一公尺平方級的下一世代(第5代),業界普遍認為以往的製造技術與製造設備並不能適用在下一世代的製程。本研究分別探討在既有的製造設設備與零件材料的基礎下,對於生產下一世代大型基板所使用之製造設備的評價與問題點。

由於LCD製造設備研製是一個高投資、高風險的產業,在面臨製程設備不斷變化與進步情況下,想要投入此市場必須面對許多技術時效性的問題。在投入方向上,LCD設備業若完全自行研發,其成本與技術難度相當高,而且緩不濟急,利用技術移轉,成為國際產業分工的一員是較為可行的方向。在具體發展方式上,應積極尋求國內LCD廠商的結盟合作,並循序漸進先由難度較低的後段設備開始建立基礎,累積know-how後,再升級至較高階的前段設備,同時與國內研發單位共同研發,以及善用政府補助措施等,逐步建立起我國在此方面的生產實力。

[本書目錄]

壹、緒 論 1-1

一、研究動機與目的 1-1

二、研究範圍 1-2

三、研究方法 1-3

四、研究程序 1-4

貳、產品定義與範圍 2-1

一、產品定義 2-1

二、LCD的製作 2-4

參、國外市場分析 3-1

一、全球市場概況 3-1

二、各地區市場概況 3-4

三、各設備市場概況 3-7

四、廠商銷售排名 3-11

五、佔有率分析 3-13

六、個別廠商概況 3-41

肆、國內市場分析 4-1

一、需求概況 4-1

二、供給概況 4-10

伍、技術發展現況與趨勢 5-1

一、LCD各設備技術發展趨勢 5-1

二、LCD各設備在次世代製程中尚待解決之問題 5-13

陸、結論與建議 6-1

一、結論 6-1

二、建議 6-4

柒、附錄 7-1

參考資料 7-1

表目錄

表2-1 LCD生產設備之分類 2-2

表2-2 LCD生產設備之世代演進 2-3

表2-3 LCD之分類 2-4

表3-1 全球各項LCD生產設備市場概況 3-9

表3-2 1999年全球各單項LCD生產設備市場概況 3-10

表3-3 1999年全球LCD生產設備製造廠商銷售排名 3-12

表4-1 TFT-LCD所需設備清單 4-2

表4-2 國內TN/STN廠商 4-3

表4-3 台灣TFT-LCD主要廠商擴產計劃(2000-2001)年 4-9

表4-4 國產LCD生產設備供應概況 4-12

表4-5 進口LCD生產設備代理概況 4-13

表5-1 對真空成膜設備的評價結果 5-15

表5-2 對照相蝕刻關連設備的評價結果 5-17

表5-3 對濕式處理設備的評價結果 5-20

表5-4 對乾式蝕刻與光阻灰化設備的評價結果 5-22

表5-5 對液晶cell工程設備的評價結果 5-24

表5-6 對構裝設備的評價結果 5-26

表5-7 對玻璃基板搬運系統的評價結果 5-28

表5-8 對檢查關連設備的評價結果 5-30

表5-9 對玻璃基板與光罩(Photomask)的評價結果 5-31

圖目錄

圖1-1 研究程序 1-4

圖2-1 LCD剖面圖 2-4

圖2-2 電極圖案形成之製程 2-5

圖2-3 面板組裝之製程 2-6

圖2-4 模組構裝之製程 2-7

圖2-5 配向圖示 2-10

圖2-6 膠框圖示 2-11

圖2-7 間隔劑散布圖示 2-11

圖2-8 組合對位圖示 2-12

圖2-9 畫線器圖示 2-12

圖2-10 裂片器圖示 2-13

圖2-11 TAB圖示 2-14

圖3-1 全球LCD生產設備市場概況 3-2

圖3-2 全球AM-LCD、PM-LCD與CF生產設備市場概況 3-3

圖3-3 全球LCD生產設備各區域市場概況 3-4

圖3-4 日本LCD生產設備市場概況 3-5

圖3-5 亞洲LCD生產設備市場概況 3-6

圖3-6 全球各類LCD生產設備市場概況 3-8

圖3-7 1999年全球LCD洗淨設備市場佔有率概況 3-13

圖3-8 1999年全球LCD光阻塗布備市場佔有率概況 3-14

圖3-9 1999年全球LCD投影式曝光設備市場佔有率概況 3-15

圖3-10 1999年全球LCD近接式曝光設備市場佔有率概況 3-16

圖3-11 1999年全球LCD顯影設備市場佔有率概況 3-17

圖3-12 1999年全球LCD濕式蝕刻設備市場佔有率概況 3-18

圖3-13 1999年全球LCD乾式蝕刻設備市場佔有率概況 3-19

圖3-14 1999年全球LCD光阻剝離設備市場佔有率概況 3-20

圖3-15 1999年全球LCD濺鍍設備市場佔有率概況 3-21

圖3-16 1999年全球LCD電漿CVD設備市場佔有率概況 3-22

圖3-17 1999年全球LCD陽極氧化設備市場佔有率概況 3-23

圖3-18 1999年全球LCD離子摻雜設備市場佔有率概況 3-24

圖3-19 1999年全球LCD熱處理設備市場佔有率概況 3-25

圖3-20 1999年全球LCD配向膜塗布設備市場佔有率概況 3-26

圖3-21 1999年全球LCD燒成爐市場佔有率概況 3-27

圖3-22 1999年全球LCD配向設備市場佔有率概況 3-28

圖3-23 1999年全球LCD膠框印刷設備市場佔有率概況 3-29

圖3-24 1999年全球LCD間隔劑散佈設備市場佔有率概況 3-30

圖3-25 1999年全球LCD組合對位設備市場佔有率概況 3-31

圖3-26 1999年全球LCD液晶注入設備市場佔有率概況 3-32

圖3-27 1999年全球LCD切割/裂片設備市場佔有率概況 3-33

圖3-28 1999年全球LCD偏光板貼片設備市場佔有率概況 3-34

圖3-29 1999年全球LCD之TAB構裝設備市場佔有率概況 3-35

圖3-30 1999年全球LCD之COG構裝設備市場佔有率概況 3-36

圖3-31 1999年全球LCD基板檢查設備市場佔有率概況 3-37

圖3-32 1999年全球LCD陣列檢查設備市場佔有率概況 3-38

圖3-33 1999年全球LCD點燈檢查設備/探針市場佔有率概況 3-39

圖3-34 1999年全球LCD修整設備市場佔有率概況 3-40

目錄

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第一章 緒論
5
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第二章 產品定義與範圍
15
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第三章 國外市場分析
55
0 元/點
第四章 國內市場分析
14
0 元/點
第五章 技術發展現況與趨勢
32
0 元/點
第六章 結論與建議
10
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