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半導體製程檢測儀器市場-表面幾何特徵及薄膜

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出版作者 賴麗娟
出版單位 工研院IEK系統能源組
出版日期 1997/07/01
出版類型 產業報告
所屬領域 資訊硬體
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摘要

積體電路不但被日本譽為「產業稻米」,技術被稱為「世紀之鑰」,更與資訊、通訊、能源、航太、消費性電子等產業息息相關,不但是一包容性產業,更是關鍵性產業。

在勾勒半導體產業發展遠景及動態中,對於市場規模、技術發展、關聯產業發展及廠商動態探討十分熱絡,但在檢測儀器之探討似較缺乏,該領域雖非主流之製造技術,卻與產品良率

息息相關。

半導體製程檢測儀器是一多項高科技技術的整合。具有精密度、準確度、系統安全性要求高、注重即時維修、支援服務系統、量少價高、使用者選用新品牌意願低落、自成一封閉資訊

網路等特性的產業,對新進入者之障礙相當大,國內在該領域的發展,或可朝發展非主流的檢測儀器以完善主流儀器之功能、解決本土半導體廠運作之困擾為主,或技術引進、策略聯

盟,進行全球產業分工的方向進行。

目錄

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第一章 緒論
3
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第二章 半導體產業市場
8
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第三章 半導體製程檢測儀器市場
13
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第四章 結論
7
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