2001年全球半導體衰退，全球半導體廠資本投資紛紛縮減投資，以因應市場各類應用產品的需求衰退的情況，在日本、韓國、及我國半導體生產設備市場規模均大幅衰退下，各半導體設備業者營收表現均較2000年大幅滑落。
我國在半導體領域中，設備工業是較弱的一環，面臨全球景氣的大幅滑落，對於廠商來講是嚴酷的考驗。然而，我們卻也看見因為歐美國際大廠面臨景氣衰退，對於成本降低的壓力。
因此對於部分國內體質良好、掌握技術的設備業者，而看到發展的機會，因此國內業者及研發機構如何在逆境中掌握契機、了解市場需求及脈動，是國內設備業者趁此時刻發展茁壯的機會。
本研究主要從半導體市場去了解整體的景氣脈絡、投資動向及技術趨勢，並在半導體前後段設備市場均由國外寡佔的局面下，試圖從國內發展設備產業及產官學研機構推動情況中，找出產業未來發展機會與方向。
本研究內容主要包括：
一、緒論，介紹本研究之研究目的及方法。
二、全球半導體前後段設備市場及產業發展，內容含括全球、日本、韓國、北美及歐洲、東南亞各國、我國半導體生產設備市場及投資狀況。
三、半導體前後段設備全球發展現況各機種別動向，介紹全球半導體前後段主要設備廠商發展現況及設備別發展動向。
四、先進半導體生產設備現況及發展方向，探討最近國內設備廠商有意發展的GaAs三五族生產設備及發展方向。
五、國內外設備廠商現況比較，分析我國與國外半導體設備業者競爭立基與機會。
六、結論與建議，結論部份包括各分析重點簡潔概述，建議部份包括設備廠商發展模式、對產官研各單位之建議等。