微機電系統(MEMS)專題研究

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出版作者 陳有斌
出版單位 工研院IEK電子分項
出版日期 1999/07/01
出版類型 產業報告
所屬領域 半導體
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摘要

微機電系統(Micro Electro – Mechanical System)技術是一種結合半導體技術與超精密加工技術的前瞻技術。由於微機電產品及技術具有可以低成本、大量生產製造,可減少體積、重量及能源消耗,高功能性,能提高可靠性及強韌性等優點,因此,被認為將是21世紀產業技術的主流。

微機電系統技術之應用範圍很廣泛,涵蓋汽車工業、資訊產品、生醫應用、通訊產品、環保應用、航太工業、家庭及保全應用等。起初微機電系統技術主要應用於汽車工業,未來五年資訊及生醫領域將是主要的應用對象,此外通訊產品應用也將看好。預計在公元2002年全世界微機電產品市場約有385億美元,若以市場槓桿因子為十倍來估算,其所帶動的系統產品市場將近4000億美元。

在應用市場方面,預計到公元2002年,資訊產品應用佔59%,醫療與生化應用佔28%,通訊產品應用佔5%,自動化工業及航太應用佔4%。產值貢獻集中於下列主要產品:

應用產品 預估2002年產值

硬碟機讀取頭 120億美元

噴墨印字頭 100億美元

微型構裝 100億美元

心律調整器 37億美元

醫療診斷器 28億美元

助聽器 20億美元

壓力感測器 13億美元

平面顯示器 12億美元

生物晶片 10億美元

光開關 10億美元

投藥系統 10億美元

化學感測器 8億美元

無庸置疑,微機電系統技術未來將會是產業生命力的新源頭,也將在市場上帶來很多新契機。因此,有效地掌握微機電產業資訊已是件重要的事情。有鑑於國人普遍地對微機電系統技術這一個新興前瞻的科技領域並不熟悉,本報告將就微機電產品及技術的特性作介紹,探討市場現況與未來發展趨勢,並從應用領域面來作產品分析,最後將評估我國發展微機電產業的機會與挑戰,希望能提供國內廠商新投資機會之參考。

目錄

章節檔案下載
第一章 緒論
3
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第二章 國內外發展現況簡介
4
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第三章 微系統技術之特色與範疇
4
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第四章 微系統市場研究方法與定義
10
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第五章 微系統技術之應用(MST Applications)1
12
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第六章 微系統技術之產品(MST Products)1
36
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第七章 國內微系統技術與產業之發展[12,13]
47
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第八章 結論:對微系統技術產業之發展預測
2
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