技術地圖是一種規範或是共識的建立與分析，並可用作為支援策略規劃及產品開發的工具，在進入21世紀的今日，由於市場及技術快速變化的特性，造成企業經營上有較高的潛在風險，如果一旦失敗，若拚資較大或必須投入大量高級人力，則將會對企業造成極嚴重的影響，而技術地圖正可彌補此風險，藉此進一步達到協助產業尋找未來市場商機，或指引研發時代技術決策的方向，並幫助預測市場未來的科朝及產品需求，闡述產業用以成功競爭於未來的路徑，且增進相關產業夥伴合作，彼此分享知識及建立新的合夥關係。因此在環安領域上特別針對半導體業界對於毒害性製程尾氣處理技術的需求，進行此技術發展地圖探討，並在為協助政府規劃各產業領域技術研發方向的目標下，提供政府在規劃國內半導體環安技術發展上的參考。