奈米材料雖然是新的發現與應用,但事實上,其製造技術早已被應用在各行各業之中,最明顯的例子即是表面被覆技術,如PVD、CVD技術。PVD、CVD是表面技術的主流,早已被大量運用於半導體、儲存媒體、平面顯示器、刀具/工具、醫療器材及零組件之上,過去主要用來增加產品的表面機械特性,如美觀、耐磨、耐蝕、耐熱等,或作為功能性鍍膜,如電導性、電磁遮蔽性、光觸媒性、絕熱性、抗菌性等之用。過去探PVD、CVD,主要是針對其表面處理方面的功能,而很少觸及奈米技術,但深入瞭解奈米材料的製造技術後,可以發現,PVD、CVD在其中扮演的重要角色。