超清淨不銹鋼所製成之超清淨閥(Ultra Clean Valve; UCV)為一半導體製程設備用之精密閥體，經常使用在半導體製造裝置中，輸送高純度氣體管路上及工廠特殊氣體配管用途上。在半導體晶片製造過程中，若有微粒子、有機物等不純物附著在晶片表面，將會對半導體的製造產生嚴重的影響，品質會因而降低，所以保持製程設備中氣體管路相關零組件的表面超潔淨是相當重要的。
摘要
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