高科技檢測設備之研究

====章節目錄====

第一章 緒 論…1-1

　　第一節 研究動機…1-1

　　第二節 研究目的…1-2

　　第三節 研究範圍…1-3

　　第四節 研究方法…1-4

　　第五節 研究架構…1-5

　　第六節 研究限制…1-7

第二章 產品定義與範圍…2-1

　　第一節 產品定義與分類…2-1

　　第二節 半導體及LCD 檢測設備介紹…2-3

　　　　一、半導體測試設備產品與技術…2-3

　　　　二、LCD 測試設備產品與技術…2-22

　　第三節 產業特性分析…2-28

　　第四節 產業重要發展歷程…2-30

　　　　一、半導體檢測設備…2-30

　　　　二、LCD 檢測設備…2-31

第三章 產業需求現況分析…3-1

　　第一節 全球產業動向…3-1

　　　　一、半導體相關產業動向…3-1

　　　　二、LCD 相關產業動向…3-3

　　第二節 全球檢測設備市場…3-8

　　　　一、半導體檢測設備…3-8

　　　　二、LCD 檢測設備…3-31

　　第三節 國內市場現況…3-45

　　　　一、半導體檢測設備…3-45

　　　　二、LCD 檢測設備市場…3-86

　　　　三、國內購買考量因素…3-96

第四章 國內供應現況分析…4-1

　　第一節 我國製造及代理動態…4-1

　　　　一、國內半導體檢測設備供應概況…4-1

　　　　二、國內LCD 檢測設備供應概況…4-8

　　第二節 技術現況與瓶頸分析…4-15

　　　　一、技術現況…4-15

　　　　二、技術開發瓶頸…4-18

第五章 產業趨勢分析及預測…5-1

　　第一節 半導體產業發展與檢測需求…5-1

　　　　一、半導體各檢測設備技術發展…5-1

　　　　二、國內半導體檢測設備發展趨勢…5-10

　　第二節 LCD 產業發展與檢測需求…5-13

　　　　一、LCD 檢測設備技術發展…5-13

　　　　二、國內LCD 檢測設備發展趨勢…5-16

　　第三節 未來檢測設備需求預測…5-22

　　　　一、半導體檢測設備需求預測…5-22

　　　　二、LCD 檢測設備需求預測…5-31

　　　　三、高科技檢測設備國內需求預測…5-34

第六章 我國高科技檢測設備發展策略…6-1

　　第一節 我國產業發展條件…6-1

　　　　一、半導體檢測設備產業環境…6-1

　　　　二、LCD 檢測設備產業環境…6-6

　　第二節 我國產業結構與策略…6-8

　　　　一、國內業者競爭力…6-8

　　　　二、國內檢測設備業者因應策略…6-10

　　第三節 我國產業支援與政策…6-11

　　第四節 我國檢測設備產業發展機會…6-19

　　　　一、半導體檢測設備發展機會…6-19

　　　　二、LCD 檢測設備發展機會…6-20

　　　　三、發展面臨的困難與問題…6-22

第七章 結論與建議…7-1

　　第一節 結論…7-1

　　第二節 策略發展建議…7-5

　　　　一、開發優先順序…7-6

　　　　二、半導體檢測設備發展建議…7-8

　　　　三、LCD 檢測設備發展建議…7-14

　　　　四、整體策略建議…7-16

====表目錄====

表1-1 問卷回收狀況…1-4

表2-1 半導體檢測設備涵蓋內容…2-1

表2-2 LCD 檢測設備涵蓋內容…2-2

表2-3 半導體檢測設備分類表…2-4

表2-4 各種顯微術的比較…2-5

表2-5 各種電子顯微鏡分析系統的類型比較…2-5

表2-6 膜厚量測方法…2-14

表2-7 各種塵粒粒徑比較表…2-15

表2-8 環境試驗項目與試驗設備…2-21

表2-9 耐久性試驗項目與試驗設備…2-22

表3-1 全球大型TFT-LCD 面板需求分析…3-4

表3-2 1999~2003 年各區域半導體檢測設備市場佔有率…3-9

表3-3 1999~2003 年全球半導體檢測設備市場佔有率…3-10

表3-4 1999~2003 年光罩/標線檢測設備各區域市場佔有率…3-14

表3-5 1999~2003 年晶圓檢測設備各區域市場佔有率…3-16

表3-6 1999~2003 年針測機各區域市場佔有率…3-18

表3-7 1999~2003 年邏輯IC 自動測試設備各區域市場佔有率…3-21

表3-8 1999~2003 年記憶體IC 自動測試設備各區域市場佔有率.…3-23

表3-9 1999~2003 年混合訊號IC 自動測試設備各區域市場佔有率…3-26

表3-10 1999~2003 年分類機各區域市場佔有率…3-28

表3-11 1999~2003 年燒入測試機各區域市場佔有率…3-30

表3-12 1999~2003 年各區域LCD 檢測設備市場佔有率…3-32

表3-13 1999~2003 年全球LCD 檢測設備市場佔有率…3-32

表3-14 1999~2003 年玻璃基板檢測設備各區域市場佔有率…3-36

表3-15 1999~2003 年陣列檢測設備各區域市場佔有率…3-38

表3-16 1999~2003 年彩色濾光片檢測設備各區域市場佔有率…3-39

表3-17 1999~2003 年點燈檢測設備/探針各區域市場佔有率…3-41

表3-18 1999~2003 年環境試驗設備各區域市場佔有率…3-43

表3-19 2000~2002 年我國IC 產業結構分析…3-47

表3-20 我國專業IC 設計業重要指標…3-48

表3-21 2002 年我國前十大IC 設計公司…3-49

表3-22 我國IC 製造業重要指標…3-51

表3-23 2002 年我國IC 製造業營業額排名…3-52

表3-24 我國與先進國家IC 製程技術水準比較…3-55

表3-25 國內IC 製造業的矽晶圓材料來源…3-56

表3-26 國內IC 製造業的光罩來源…3-56

表3-27 國內IC 製造業委外封裝地區…3-57

表3-28 各主要半導體廠商2002 年資本投資…3-59

表3-29 我國國資IC 封裝業歷年重要指標…3-60

表3-30 國資封裝前五大廠產值集中度…3-61

表3-31 2002 年全球半導體封裝設備市場統計…3-65

表3-32 國資測試業重要指標…3-68

表3-33 國資測試前五大廠商排名…3-71

表3-34 1998~2003 年我國半導體檢測設備貿易分析…3-75

表3-35 1998~2002 年我國半導體檢測設備進口統計…3-77

表3-36 1999~2002 年我國半導體檢測設備主要進口國家…3-78

表3-37 1998~2002 年我國半導體檢測設備出口統計…3-79

表3-38 1999~2002 年我國半導體檢測儀器主要出口業者分析…3-80

表3-39 台灣半導體檢測設備市場…3-81

表3-40 目前國內所使用的半導體檢測設備…3-82

表3-41 台灣TFT-LCD 廠商生產線規劃及投資狀況一覽表…3-88

表3-42 國內廠商生產線規模與相關投資規劃…3-89

表3-43 我國LCD/CF 檢測設備使用廠商…3-91

表3-44 使用業者購買IC 檢測設備考慮因素…3-98

表3-45 使用業者採購IC 檢測設備的消息來源…3-99

表3-46 國產設備採用之理由評估…3-99

表3-47 國內半導體或LCD 廠商評估採用國產設備時所擔心的因素.. 3-100

表4-1 半導體檢測設備供應代理概況…4-2

表4-2 一般環境試驗設備國內產製狀況…4-4

表4-3 國產半導體檢測設備廠商資本額…4-7

表4-4 我國投入半導體檢測設備廠商產品表…4-8

表4-5 LCD 檢測設備供應代理概況…4-10

表4-6 國內製造的LCD 檢測設備廠商產品型別…4-11

表4-7 國產LCD 檢測設備廠商資本額…4-12

表4-8 2002-2003 年國產LCD 檢測設備出貨狀況…4-13

表4-9 IC 及LCD 檢測設備開發原因…4-15

表4-10 IC 及LCD 檢測設備開發方式…4-16

表4-11 2003 年國內半導體或LCD 業採用國產檢測設備之狀況…4-18

表4-12 國內半導體或LCD 檢測設備製造開發瓶頸…4-20

表5-1 半導體信賴性試驗規格…5-8

表5-2 半導體檢查設備動向…5-9

表5-3 全球半導體市場規模預估(2001~2007 年) …5-22

表5-4 2002~2008 年全球半導體檢測設備市場需求預測…5-27

表5-5 未來國內半導體檢測設備需求狀況…5-28

表5-6 2003 年半導體檢測設備之營業額成長率預估…5-29

表5-7 2003~2006 半導體檢測設備產業銷售額年平均成長率預測…5-30

表5-8 2002~2008 年台灣半導體檢測設備市場需求預測…5-31

表5-9 2000~2005 年全球LCD 檢測設備市場需求預測…5-32

表5-10 2000~2005 年台灣LCD 檢測設備市場需求預測…5-33

表5-11 2003 年之高科技檢測設備供應業者營業額成長率預估…5-34

表6-1 半導體或LCD 檢測設備廠商因應未來變化採行的策略…6-10

表6-2 對半導體及LCD 檢測設備業者較有幫助的措施…6-16

表7-1 我國半導體檢測設備開發優先順序…7-7

表7-2 我國LCD 檢測設備開發優先順序…7-7

表7-3 使用者對國內發展半導體檢測設備的期望與建議…7-10

====圖目錄====

圖1-1 研究範圍…1-3

圖1-2 研究架構(1)…1-5

圖1-2 研究架構(2)…1-6

圖2-1 半導體製造與檢測程序…2-3

圖2-2 穿透式光罩量測儀…2-6

圖2-3 原子力顯微鏡原理…2-8

圖2-4 掃瞄電子顯微鏡原理…2-10

圖2-5 粒徑量測原理…2-16

圖2-6 半導體後段製程之各階段測試…2-18

圖2-7 前段Array 之製造流程及檢測…2-24

圖2-8 CF 之製造流程及檢測…2-25

圖2-9 CELL 段之製造流程及檢測…2-26

圖2-10 Module 段之製造流程及檢測…2-27

圖3-1 全球LCD 關聯設備投資額…3-7

圖3-2 全球彩色濾光片關聯設備投資額…3-7

圖3-3 1999~2003 年全球半導體檢測設備市場…3-8

圖3-4 1999~2003 年日本半導體檢測設備市場…3-11

圖3-5 1999~2003 年亞洲半導體檢測設備市場…3-11

圖3-6 1999~2003 年北美半導體檢測設備市場…3-12

圖3-7 1999~2003 年歐洲半導體檢測設備市場…3-13

圖3-8 1999~2003 年全球光罩/標線檢測設備市場…3-13

圖3-9 2001 年全球光罩/標線檢測設備製造商市場佔有率概況…3-15

圖3-10 1999~2003 年全球晶圓檢測設備市場…3-16

圖3-11 2001 年全球晶圓檢測設備製造商市場佔有率概況…3-17

圖3-12 1999~2003 年全球針測機市場…3-18

圖3-13 2001 年全球探針與探針卡製造商市場佔有率概況…3-19

圖3-14 1999~2003 年全球邏輯IC 自動測試設備市場…3-20

圖3-15 2001 年全球邏輯IC 自動測試設備製造商市場佔有率概況.. 3-22

圖3-16 1999~2003 年全球記憶體IC 自動測試設備市場…3-23

圖3-17 2001 年全球記憶體IC 自動測試設備製造商市場佔有率概況.. 3-24

圖3-18 1999~2003 年全球混合訊號IC 自動測試設備市場…3-25

圖3-19 2001 年全球混合訊號IC 自動測試設備製造商市場佔有率概況.. 3-26

圖3-20 1999~2003 年全球分類機市場…3-27

圖3-21 2001 年全球分類機製造商市場佔有率概況…3-28

圖3-22 1999~2003 年全球燒入測試機市場…3-29

圖3-23 2001 年全球燒入測試機製造商市場佔有率概況…3-30

圖3-24 1999~2003 年全球LCD 檢測設備市場…3-31

圖3-25 1999~2003 年日本LCD 檢測設備市場概況…3-33

圖3-26 1999~2003 年亞洲LCD 檢測設備市場概況…3-34

圖3-27 1999~2003 年全球玻璃基板檢測設備市場…3-35

圖3-28 2002 年全球玻璃基板檢測設備製造商市場佔有率概況…3-36

圖3-29 1999~2003 年全球陣列檢測設備市場…3-37

圖3-30 2002 年全球陣列檢測設備製造商市場佔有率概況…3-38

圖3-31 1999~2003 年全球彩色濾光片檢測設備市場…3-39

圖3-32 2002 年全球彩色濾光片檢測設備製造商市場佔有率概況.…3-40

圖3-33 1999~2003 年全球點燈檢測設備/探針市場…3-41

圖3-34 2002 年全球點燈檢測設備/探針製造商市場佔有率概況…3-42

圖3-35 1999~2003 全球環境試驗設備市場…3-43

圖3-36 2002 年全球環境試驗設備製造商市場佔有率概況…3-44

圖3-37 2002 年我國測試產品分佈…3-70

圖3-38 2002 年我國測試客戶分佈…3-70

圖3-39 1998~2005 年我國半導體檢測設備需求統計…3-75

圖3-40 1997~2002 年我國IC 元件自動測試設備市場規模…3-85

圖3-41 2002 年國內FPD 產業投資分布…3-87

圖3-42 台灣LCD 檢查設備市場規模…3-93

圖4-1 國內供應代理者半導體或LCD 檢測設備出貨金額…4-14

圖4-2 我國半導體或LCD 檢測設備之設計、製造或維修之技術來源…4-17

圖5-1 全球半導體區域市場規模…5-23

圖5-2 全球各區半導體資本支出比例圖…5-24

圖5-3 台灣IC 製造業產能統計…5-26

圖6-1 量測中心開發的原子力顯微鏡…6-13

圖7-1 我國高科技檢測設備開發優先順序…7-8