微細加工技術在金屬相關產業之應用

====章節目錄====

第一章 緒論…1-1

　　第一節 研究動機…1-1

　　第二節 研究範圍…1-2

　　第三節 研究方法及架構…1-3

　　第四節 研究時程及限制…1-4

第二章 微細加工技術簡介…2-1

　　第一節 微細加工技術的定義…2-1

　　　　一、 微機電系統之定義…2-1

　　　　二、 微細加工技術之定義…2-1

　　第二節 微細加工技術的分類…2-3

　　第三節 常用之微細加工技術簡介…2-6

　　　　一、 矽基微加工技術…2-6

　　　　二、 LIGA製程…2-8

　　　　三、 微機械加工技術…2-9

　　第四節 微細加工應用領域…2-14

第三章 微細加工技術應用市場分析…3-1

　　第一節 全球應用市場規模…3-1

　　第二節 微細加工技術應用現況與展望…3-5

　　　　一、 機械及設備領域…3-5

　　　　二、 資訊及電子領域…3-16

　　　　三、 光電通訊領域…3-20

　　　　四、 醫療生物領域…3-24

　　第三節 應用產品發展歷程…3-29

第四章 微細加工技術發展分析…4-1

　　第一節 國外微細加工技術之發展…4-1

　　　　一、 歐洲微系統技術…4-1

　　　　二、 美國微機電系統技術…4-10

　　　　三、 日本的微機械…4-14

　　　　四、 其他國家發展現況…4-17

　　第二節 歐美日微技術發展比較…4-19

　　　　一、 背景及推動方式…4-19

　　　　二、 主要技術及應用領域…4-20

　　第三節 國內微細加工技術之發展…4-22

　　　　一、 微機電系統技術發展歷程…4-22

　　　　二、 主要研發單位…4-23

　　　　三、 主要廠商…4-30

　　　　四、 我國微機電發展策略…4-32

　　第四節 專利分析…4-34

第五章 金屬微細加工技術之應用潛力…5-1

　　第一節 金屬微細加工技術之應用性…5-1

　　第二節 Milli-Structure概念…5-2

　　第三節 金屬微細加工技術發展現況與展望…5-4

　　　　一、 微放電加工…5-4

　　　　二、 微雷射加工…5-10

　　　　三、 微切削加工…5-16

　　　　四、 微成形加工…5-19

　　　　五、 技術關連性…5-24

　　第四節 應用潛力分析…5-25

　　　　一、 微馬達…5-25

　　　　二、 雷射二極體…5-29

　　第五節 金屬微成形技術相關研究單位介紹…5-31

　　　　一、 日本…5-31

　　　　二、 德國…5-36

　　　　三、 韓國…5-36

　　　　四、 台灣…5-37

第六章 我國發展微細加工技術之機會點及優劣勢分析…6-1

　　第一節 我國發展微細加工技術之機會點…6-1

　　第二節 我國發展微細加工技術之優勢…6-4

　　第三節 我國發展微細加工技術之劣勢…6-5

　　第四節 我國發展微細加工技術之威脅…6-6

第七章 結論與建議…7-1

　　第一節 結論…7-1

　　第二節 建議…7-6

====表目錄====

表 2-1 微製造技術分類…2-5

表 2-2 各種微細加工技術比較…2-5

表 3-1 微型工廠市場效果…3-15

表 4-1 歐洲Europractice的微系統製造群聚…4-4

表 4-2 各種微細加工技術研究之學者…4-24

表 4-3 我國微機電系統技術主要研發機構…4-25

表 4-4 研發單位微機械加工設備比較…4-27

表 4-5 我國研發單位在微機電系統技術成果…4-28

表 4-6 美國公告微細加工專利主要競爭公司分析…4-37

表 4-7 美國公告微細加工專利被引證次數分析…4-38

表 5-1 Milli-Stracture結構與微機電產品之比較…5-4

表 5-2 微放電加工與雕模放電加工之特性比較…5-5

表 5-3 微放電加工及WEDG之比較…5-7

表 5-4 雷射分類及其特性…5-11

表 5-5 微雷射加工技術要素說明…5-13

表 5-6 各種微雷射加工特性比較…5-15

表 5-7 微切削加工概況說明…5-18

表 5-8 各種微成形加工技術比較…5-23

表 5-9 日本金屬微加工相關廠商及研究範疇…5-33

表 7-1 主要國家微細加工技術發展比較…7-2

====圖目錄====

圖 1-1 微細加工技術專題研究範圍…1-3

圖 1-2 微細加工技術之研究方法與架構…1-4

圖 1-3 微細加工在金屬相關產業之應用之研究時程…1-5

圖 2-1 微機電系統尺寸概念圖…2-2

圖 2-2 微細加工技術分類…2-4

圖 2-3 體型微加工技術示意圖…2-7

圖 2-4 面型微加工犧牲層技術示意圖…2-7

圖 2-5 LIGA技術示意圖…2-8

圖 2-6 WEDG加工示意圖…2-10

圖 2-7 直徑6mm之電極…2-10

圖 2-8 微雷射加工技術應用分類…2-12

圖 2-9 微切削加工之加工實例…2-13

圖 2-10 微金屬成形件實例…2-14

圖 2-11 微細加工技術之應用領域…2-15

圖 3-1 全球微系統產品市場預測…3-1

圖 3-2 微機電應用市場趨勢…3-2

圖 3-3 微機電應用產品佔有率變化…3-3

圖 3-4 M3應用產品市場規模預測…3-3

圖 3-5 全球微系統技術產值預測…3-4

圖 3-6 2000及2005年微系統之應用領域分佈…3-4

圖 3-7 震動馬達的基本原理…3-8

圖 3-8 空壓震動馬達結構…3-8

圖 3-9 桌上型微型工廠概念圖…3-9

圖 3-10 MEL所提供的微型工廠照片…3-10

圖 3-11 微車床之外觀…3-11

圖 3-12 微車床之切削加工實例…3-11

圖 3-13 微銑床…3-12

圖 3-14 微沖壓機…3-13

圖 3-15 微型工廠製作之滾珠軸承零組件…3-13

圖 3-16 可攜式微型工廠…3-14

圖 3-17 HDD結構圖…3-17

圖 3-18 HDD磁頭控制用靜電微致動器概念圖…3-18

圖 3-19 CD/DVD互換用2焦點透鏡…3-19

圖 3-20 MEMS在消費性產品之市場規模趨勢…3-20

圖 3-21 矽質光平台示意圖…3-22

圖 3-22 朗訊科技之反射鏡面光開關…3-23

圖 3-23 MEMS在光通訊產業之市場規模趨勢…3-24

圖 3-24 前端可自在彎曲的內視鏡…3-26

圖 3-25 可動式內視鏡軟管概念圖…3-27

圖 3-26 日本試作之可動式內視鏡軟管…3-27

圖 3-27 MEMS在醫療產品之市場規模趨勢…3-29

圖 3-28 微機電應用產品發展歷程…3-30

圖 4-1 歐洲微系統技術發展歷程…4-2

圖 4-2 歐盟微系統組織架構…4-3

圖 4-3 STEAG microParts公司之量產流程…4-7

圖 4-4 德國微系統技術應用發展藍圖…4-8

圖 4-5 NEXUS對RF-MEMS規劃之發展藍圖…4-9

圖 4-6 NEXUS對MOEMS規劃之發展藍圖…4-10

圖 4-7 美國微機電系統技術發展歷程…4-11

圖 4-8 日本微機械技術發展歷程…4-15

圖 4-9 日本微機械技術計畫參與廠商…4-16

圖 4-10 日本微機械技術應用發展藍圖…4-17

圖 4-11 歐美日微技術發展背景及推動方式比較…4-19

圖 4-12 歐美日微加工技術比較…4-20

圖 4-13 歐美日微技術應用領域比較…4-21

圖 4-14 我國微機電系統技術發展歷程…4-22

圖 4-15 我國研發單位微細加工相關設備比較…4-27

圖 4-16 我國微機電系統發展策略…4-33

圖 4-17 我國具有發展潛力之微機電產品…4-33

圖 4-18 1996-2010年我國微機電系統核心技術及載具發展歷程…4-34

圖 4-19 歷年美國公告微細加工專利件數分析…4-35

圖 4-20 歷年美國公告微細加工專利重要國家分析…4-36

圖 4-21 美國公告微細加工專利國際專利分類分析…4-39

圖 5-1 微加工尺寸開發系統…5-2

圖 5-2 Milli-Stracture概念圖…5-3

圖 5-3 微放電加工技術應用關連圖…5-6

圖 5-4 微放電加工應用實例…5-8

圖 5-5 雷射應用領域魚骨圖…5-12

圖 5-6 微雷射加工在金屬材料之應用實例…5-13

圖 5-7 微切削加工製作之面具…5-17

圖 5-8 金屬微軋延加工例…5-21

圖 5-9 微沖斷加工示意圖…5-22

圖 5-10 金屬微加工技術關連圖…5-24

圖 5-11 全球小型馬達需求量預測…5-26

圖 5-12 我國精密小馬達產銷統計…5-27

圖 5-13 Penny Motor的分解爆炸圖…5-28

圖 5-14 全球雷射二極體產值變化趨勢…5-29

圖 5-15 雷射二極體TO-CAN封裝結構圖…5-31

圖 5-16 日本金屬微細加工技術主要研究單位…5-32

圖 5-17 群馬大學開發之微齒輪組…5-33

圖 5-18 微小材料拉伸試驗機…5-34

圖 5-19 生產同軸內孔穴之完整加工製程與開發實例…5-34

圖 5-20 德國金屬微細加工技術主要研究單位…5-36

圖 5-21 金屬中心金屬精微成形系統技術計畫之構思方向…5-38

圖 5-22 精微金屬成形系統技術研發策略…5-38

圖 6-1 微機電產品生命週期…6-1

圖 6-2 我國發展微細加工技術之SWOT分析…6-7

圖 7-1 全球微技術應用趨勢及市場規模…7-3